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世界各國(guó)各標(biāo)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)的潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范

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經(jīng)濟(jì)科技發(fā)達(dá)國(guó)家和地區(qū)都有自己的潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范，都規(guī)定了相關(guān)的潔凈度等級(jí)。

例如，美國(guó)、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。1984年，中國(guó)頒布了《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GBJ73-84)，1996年對(duì)該規(guī)范進(jìn)行了重大修改，1990年頒布了《潔凈室施工驗(yàn)收規(guī)范》(JGJ71-90)，指導(dǎo)施工驗(yàn)收。目前，該規(guī)范正在重新修訂中。

GBJ73-84規(guī)定的清潔度等級(jí)。

等級(jí)	每立方米（升）空氣中》0.5μm塵粒數(shù)	每立方米（升）空氣中》5μm塵粒數(shù)
100	《35*100（〈3.5〉
1000	《35*1000（〈35〉	《250（〈0.25〉
10000	《35*10000（〈350〉	《2500（〈2.5〉
100000	《35*100000（〈3500〉	《25000（〈25〉

美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209E中的潔凈等級(jí)

等級(jí)名稱		等級(jí)限值
		0.1μm		0.2μm		0.3μm		0.5μm		5μm
		容積單位		容積單位		容積單位		容積單位		容積單位
國(guó)際單位	英制單位	m3	Ft3	m3	Ft3	m3	Ft3	m3	Ft3	m3	Ft3
M1.0		350	9.91	75.7	2.14	30.9	0.875	10	0.283	/	/
M1.5	1	1240	35.0	265.0	7.5	106	3	35.3	1	/	/
M2.0		3500	99.1	757	21.4	309	8.75	100	2.83	/	/
M2.5	10	12400	350.0	2650	75	1060	30	353	10	/	/
M3.0		35000	991.0	7570	214	3090	87.5	1000	28.3	/	/
M3.5	100	/	/	26500	750	10600	300	3530	100	/	/
M4.0		/	/	75700	2140	30900	875	10000	283	/	/
M4.5	1000	/	/	/	/	/	/	35300	1000	247	7
M5.0		/	/	/	/	/	/	100000	2830	618	17.5
M5.5	10000	/	/	/	/	/	/	353000	10000	2470	70
M6.0		/	/	/	/	/	/	1000000	28300	6180	175
M6.5	100000	/	/	/	/	/	/	3530000	100000	24700	700
M7.0		/	/	/	/	/	/	10000000	283000	61800	1750

美國(guó)宇航局標(biāo)準(zhǔn)NHB5340.2中的潔凈等級(jí)

生物潔凈室標(biāo)準(zhǔn)	塵埃		生物粒子		壓力	溫度	濕度	氣流	照度
生物潔凈室標(biāo)準(zhǔn)	粒徑 (μm)	個(gè)/L	浮游量 (個(gè)/L)	浮沉量 (個(gè)/m2周)	mmH2O	℃	%	換氣次數(shù)	Lx
100	≥0.5	≤3.5	≤0.0035	12900	≥1.25	指定數(shù)	40~45		1000~1620
10000	≥0.5 ≥5.0	≤350 ≤2.3	≤0.0176	64600	≥1.25
100000	≥0.5 ≥5.0	≤3500 ≤23	≤0.0884	323000	≥1.25

日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JISB-9920-1989中的潔凈度等級(jí)

粒徑(μm)	潔凈度等級(jí)(個(gè)/m3)
粒徑(μm)	1級(jí)	2級(jí)	3級(jí)	4級(jí)	5級(jí)	6級(jí)	7級(jí)	8級(jí)
0.1	101	102	103	104	105	106	107	108
0.2	2	24	236	2360	23600
0.3	1	10	101	1010	10100	101000	1010000	10100000
0.5	0.35	3.5	35	350	3500	35000	350000	3500000
5.0	/	/	/	/	29	290	2900	29000

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