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空氣潔凈度等級(N) 大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m3)
0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1um 5um
1 10 2
2 100 24 10 4
3 1000 237 102 35 8
4（十級） 10000 2370 1020 352 83
5（百級） 100000 23700 10200 3520 832 29
6（千級） 1000000 237000 102000 35200 8320 293
7（萬級） 352000 83200 2930
8（十萬級） 3520000 832000 29300
9（一百萬級） 35200000 8320000 293000
國家標準GB50073-2001

無塵車間壓差控制標準　
潔凈室必須保持一定的正壓。不同等級的潔凈室與潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于4.9Pa，潔凈區(qū)與室外的靜壓差不應小于9.8Pa。　
潔凈室保持不同正壓值所需的正壓風量，應按以下公式計算：　
Q＝q1·Σ（q·L）.2.2）　
式中? Q––保持潔凈室正壓值所需的正壓風量(米3/時)；　
a––根據(jù)圍擴結構氣密性確定的安全系數(shù)可取1.1～1.2；　
q––當潔凈室為正壓值時，圍護結構單位長度間隙的滲漏風量(米3/小時)·米)；　
氣流組織和送風量氣流組織的選擇應滿足以下要求：　
潔凈工作區(qū)的氣流速度應滿足空氣潔凈度和人體健康的要求，潔凈工作區(qū)的氣流應單一?！?br /> 1、潔凈室下部應均勻布置回風口?！?br /> 2、余壓閥應位于潔凈室氣流下風側，不應位于潔凈工作區(qū)高度范圍內(nèi)?！?br /> 3、控制室內(nèi)空氣潔凈度所需的送風量。　
4‘根據(jù)熱、濕負荷計算和稀釋有害氣體所需的送風量?！?br /> 5、根據(jù)空氣平衡所需的送風量?！?br /> 6.當生產(chǎn)過程只需要在潔凈室的局部工作區(qū)域達到更高的空氣潔凈度時，其氣流組織設計應使?jié)崈魵饬魇紫韧ㄟ^工作區(qū)域，或在潔凈室的不同區(qū)域形成不同的氣流?！?br /> 7.凈工作臺不得設置在層流潔凈室內(nèi)；潔凈工作臺可設置在湍流潔凈室內(nèi)，但其位置應遠離回風口。
8、潔凈室內(nèi)有局部排氣裝置時，其位置應位于工作區(qū)下風側。

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