微電子潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)

微電子廠房的凈化主要是工業(yè)廠房?jī)?nèi)的生產(chǎn)加工地區(qū)。依據(jù)制作工藝的規(guī)定，凈化級(jí)別為1000級(jí)，設(shè)計(jì)方案單邊流的空調(diào)機(jī)組方式，本工程施工選用的是組合型中央空調(diào)機(jī)組（MAU解決新風(fēng)）+干風(fēng)機(jī)盤(pán)管（DCC解決回風(fēng)）+FFU（高效送風(fēng)口）空調(diào)機(jī)組方式；考慮到機(jī)器設(shè)備相對(duì)高度及駕駛相對(duì)高度后，在所有生產(chǎn)制造地區(qū)上邊7.95m的相對(duì)高度設(shè)定一個(gè)清潔內(nèi)腔，清潔內(nèi)腔相對(duì)高度為2m。在清潔內(nèi)腔上端設(shè)定設(shè)備平臺(tái)（原土建工程沒(méi)有，現(xiàn)新增加），新風(fēng)機(jī)組、排風(fēng)系統(tǒng)離心風(fēng)機(jī)、活性氧解決以及他機(jī)器設(shè)備均置放在設(shè)備平臺(tái)上。夏天：戶外的新風(fēng)通過(guò)過(guò)慮及減溫去濕解決后，送進(jìn)清潔內(nèi)腔。冬天：房間內(nèi)的熱排風(fēng)系統(tǒng)根據(jù)平板式熱交換器機(jī)組，加熱戶外新風(fēng)，經(jīng)過(guò)慮，加溫增濕解決后，送進(jìn)清潔內(nèi)腔。送進(jìn)清潔內(nèi)腔內(nèi)的新風(fēng)與凈化車(chē)間內(nèi)通過(guò)干風(fēng)機(jī)盤(pán)管解決的回風(fēng)混和，由FFU送進(jìn)凈化車(chē)間。FFU的吸進(jìn)口端設(shè)定中效過(guò)濾器，出入口端設(shè)定高效送風(fēng)口。送進(jìn)窒內(nèi)的風(fēng)根據(jù)架空地板的打孔，返回凈化車(chē)間兩邊的回風(fēng)墻里。

3凈化車(chē)間新風(fēng)計(jì)算

工業(yè)廠房?jī)?nèi)清潔地區(qū)樓高7.95m，總面積為2100m2。依據(jù)上邊描述規(guī)定，此次設(shè)計(jì)方案工業(yè)廠房里外壓力差為10Pa時(shí)，密封性好沒(méi)外窗，漏水換風(fēng)次數(shù)取1次/h，測(cè)算工業(yè)廠房漏水量為：2100m2×7.95m×1次/h=16695m3/h。因此測(cè)算清潔地區(qū)最少新風(fēng)量為以上全部風(fēng)量之和，測(cè)算約為121600m3/h，按此風(fēng)量挑選新風(fēng)解決機(jī)組。

4.1新風(fēng)機(jī)組的設(shè)計(jì)挑選及冬天排風(fēng)系統(tǒng)的余熱回收依據(jù)上邊測(cè)算，此次設(shè)計(jì)方案挑選組合型新風(fēng)機(jī)組

三臺(tái)置放在設(shè)備平臺(tái)上，雙用一備，每臺(tái)風(fēng)量為65000m3/h，選用直流變頻操縱。因?yàn)闄C(jī)器設(shè)備機(jī)臺(tái)排風(fēng)系統(tǒng)溫度較高，夏天排風(fēng)系統(tǒng)均立即排入戶外，冬天排風(fēng)系統(tǒng)加熱新風(fēng)，選用兩部空氣處理機(jī)組，全熱交換器設(shè)定在設(shè)備平臺(tái)上邊，每臺(tái)解決風(fēng)量為60000m3/h。

4.2新風(fēng)解決機(jī)組的設(shè)備由各作用段構(gòu)成

新風(fēng)通道→初中級(jí)過(guò)濾裝置→初級(jí)過(guò)濾裝置→一次加溫（制冷）風(fēng)機(jī)盤(pán)管→干蒸氣增濕（純凈水）→檔板→二次加熱盤(pán)管→離心風(fēng)機(jī)段→高效送風(fēng)口（出入口）。新風(fēng)經(jīng)加工處理后送至清潔內(nèi)腔內(nèi)。

4凈化生產(chǎn)車(chē)間回風(fēng)解決

本工程項(xiàng)目針對(duì)回風(fēng)的方法前邊己經(jīng)提及，送進(jìn)窒內(nèi)的風(fēng)根據(jù)架空地板的打孔，返回凈化車(chē)間兩邊的回風(fēng)墻里?；仫L(fēng)墻回至機(jī)器設(shè)備隔層，并在回風(fēng)墻側(cè)設(shè)定干風(fēng)機(jī)盤(pán)管（DCC），使屋內(nèi)的回風(fēng)所有通過(guò)干風(fēng)機(jī)盤(pán)管解決后，由離心風(fēng)機(jī)送到至清潔內(nèi)腔內(nèi)。干風(fēng)機(jī)盤(pán)管僅擔(dān)負(fù)房間內(nèi)的顯熱負(fù)荷，用以終端設(shè)備處置的空調(diào)水系統(tǒng)選用高溫水（供智能回水水的溫度為14℃/18℃，由致冷機(jī)組給予的涼水根據(jù)板式熱交換器給予）。需注意的是，因?yàn)樯a(chǎn)設(shè)備自身凈重側(cè)重，構(gòu)造設(shè)計(jì)專業(yè)了許多的設(shè)備基礎(chǔ)服務(wù)平臺(tái)及交貨安全通道，工廠地面剩下一部分為髙壓打孔木地板，做為回風(fēng)口，為確?；仫L(fēng)質(zhì)量（回風(fēng)風(fēng)量及其回風(fēng)風(fēng)力），達(dá)到房間內(nèi)潔凈度等級(jí)規(guī)定，木地板的開(kāi)孔率不小于25%。